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分子真空泵結構特點

發布時間：2012-12-20 標簽：真空泵

泵beng腔qiang內nei有you可ke旋xuan轉zhuan的de轉zhuan子zi，轉zhuan子zi的de四si周zhou帶dai有you溝gou槽cao並bing用yong擋dang板ban隔ge開kai。每mei一yi個ge溝gou槽cao就jiu相xiang當dang於yu一yi個ge單dan級ji分fen子zi泵beng，後hou一yi級ji的de入ru口kou與yu前qian一yi級ji的de出chu口kou相xiang連lian。轉zhuan子zi與yu泵beng殼ke之zhi間jian有you 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進入泵腔，被轉子攜帶到出口側，經排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優點是起動時間短，在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適於抽除較重的氣體。但同於它自身的弱點：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少應用。曾一度被結構和製造簡單，抽速大的擴散泵所代替。
　　就是在油擴散泵開始得到廣泛應用的時代，人們在牽引分子泵的結構改進方麵仍然做了許多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先後對 Gaede 型分子泵做了許多改進，提出了很多不同結構的新型牽引分子泵。但由於其結構仍較複雜，抽速低，因此未能得到廣泛應用。

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