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微型幹式真空泵應用範圍
發布時間：2013-1-14 標簽：
真空泵
微型幹式
真空泵
的
應用
是廣泛的，主要有以下幾個方麵：
1）低壓化學氣相沉積中的多晶矽製備工藝中；
2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的幹式機械
真空泵
可以滿足要求；
4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、幹燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成汙染，適合用幹式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空係統的前級泵，以防止油汙染。
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