1、 真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常 選擇泵的真空度要高於真空設備真空度半個到一個數量級。 2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強 範圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強範圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強範圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個範圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小於1×10-5mmHg為好。 3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4、正確地組合真空泵。由於真空泵有選擇性 抽氣，因(yin)而(er)，有(you)時(shi)選(xuan)用(yong)一(yi)種(zhong)泵(beng)不(bu)能(neng)滿(man)足(zu)抽(chou)氣(qi)要(yao)求(qiu)，需(xu)要(yao)幾(ji)種(zhong)泵(beng)組(zu)合(he)起(qi)來(lai)，互(hu)相(xiang)補(bu)充(chong)才(cai)能(neng)滿(man)足(zu)抽(chou)氣(qi)要(yao)求(qiu)。如(ru)鈦(tai)升(sheng)華(hua)泵(beng)對(dui)氫(qing)有(you)很(hen)高(gao)的(de)抽(chou)速(su)，但(dan)不(bu)能(neng)抽(chou)氦(hai)，而(er)三(san)極(ji)型(xing)濺(jian)射(she)離(li)子(zi)泵(beng)，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低於大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來 使用。 5、真空設備對油汙染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如： 水環泵、液環真空泵 分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油汙染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
6、了(le)解(jie)被(bei)抽(chou)氣(qi)體(ti)成(cheng)分(fen)，氣(qi)體(ti)中(zhong)含(han)不(bu)含(han)可(ke)凝(ning)蒸(zheng)氣(qi)，有(you)無(wu)顆(ke)粒(li)灰(hui)塵(chen)，有(you)無(wu)腐(fu)蝕(shi)性(xing)等(deng)。選(xuan)擇(ze)真(zhen)空(kong)泵(beng)時(shi)，需(xu)要(yao)知(zhi)道(dao)氣(qi)體(ti)成(cheng)分(fen)，針(zhen)對(dui)被(bei)抽(chou)氣(qi)體(ti)選(xuan)擇(ze)相(xiang)應(ying)的(de)泵(beng)。如(ru)果(guo)氣(qi)體(ti)中(zhong)含(han)有(you)蒸(zheng)氣(qi)、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上 安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。 7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有汙染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
9、真空泵的價格、運轉及維修費用。
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