1、真空中的熱力學問題
它ta是shi研yan究jiu真zhen空kong中zhong各ge種zhong氣qi相xiang與yu凝ning聚ju相xiang之zhi間jian的de轉zhuan化hua過guo程cheng。例li如ru蒸zheng發fa或huo凝ning結jie，分fen解jie，表biao麵mian熱re化hua學xue反fan應ying，濺jian射she，吸xi氣qi或huo出chu氣qi，吸xi附fu或huo解jie吸xi等deng。總zong之zhi，這zhe些xie均jun是shi真zhen空kong中zhong氣qi體ti分fen子zi運yun動dong與yu器qi壁bi之zhi間jian發fa生sheng的de各ge種zhong物wu理li過guo程cheng，它ta們men的de理li論lun原yuan理li是shi相xiang似si的de。研yan究jiu它ta們men達da到dao平ping衡heng時shi的de狀zhuang態tai以yi及ji這zhe一yi過guo程cheng進jin行xing的de速su率lv，在zai真zhen空kong技ji術shu中zhong是shi具ju有you重zhong要yao的de實shi際ji意yi義yi的de。
2、表麵現象
這zhe部bu分fen主zhu要yao是shi研yan究jiu氣qi體ti分fen子zi在zai器qi壁bi表biao麵mian上shang的de相xiang互hu作zuo用yong情qing況kuang。對dui表biao麵mian現xian象xiang的de研yan究jiu奠dian定ding了le超chao高gao真zhen空kong技ji術shu的de主zhu要yao理li論lun基ji礎chu，因yin而er在zai氣qi源yuan和he抽chou氣qi兩liang方fang麵mian均jun有you重zhong要yao的de發fa展zhan和he應ying用yong。
具體地說，蒸發、升華、濺射、吸附等發生在固體或液體表麵上的現象，在真空技術中也經常遇到。對它們的深入研究而建立起了另一新型學科—表麵科學。它是綜合了各基礎學科的邊緣科學，具體包括表麵物理、表麵化學及表麵分析方法幾方麵。表麵分析方法自六十年代以來已有56種之多。近年來發展的定型儀器主要有俄歇(Auger)電子譜儀(簡稱AES)、離子散射譜儀(ISS)、二次離子質譜計(SIMS)、X-光電子能譜儀(XPS)、紫外光電子譜儀(UPS)、角分布電子譜儀(ADES)和低能電子衍射儀(LEED)等。這些儀器能給出表麵的各種形位、組分、結構和能態等信息，是重要的研究手段，應引起真空技術工作者的注意。
3、濃解和擴散
這(zhe)是(shi)研(yan)究(jiu)氣(qi)體(ti)分(fen)子(zi)透(tou)入(ru)器(qi)壁(bi)內(nei)部(bu)的(de)過(guo)程(cheng)，主(zhu)要(yao)還(hai)是(shi)為(wei)了(le)研(yan)究(jiu)氣(qi)源(yuan)問(wen)題(ti)，如(ru)出(chu)氣(qi)和(he)滲(shen)透(tou)現(xian)象(xiang)等(deng)。在(zai)真(zhen)空(kong)技(ji)術(shu)中(zhong)對(dui)某(mou)些(xie)吸(xi)氣(qi)過(guo)程(cheng)也(ye)作(zuo)些(xie)探(tan)討(tao)。
以上三部分就是研究氣體分子器壁過程的理論基礎。
