工作在10-5Pa以上的超高真空機組有擴散泵、分子泵超高真空機組和無油超高真空機組.該機組有如下特點:
①主泵極限真空度高，在10-7~10-8pa以上;
②能經受200~450℃的高溫烘烤;
③主泵返流氣體的分壓力很低;
④對被抽氣體選擇性強的主泵，要配備足夠大的輔助泵;
⑤要求真空室、管道、閥門等部件的材料出氣率很低，漏氣率很小。
(1)擴散泵超高真空機組
以擴散泵為主泵的超高真空機組的極限真空度為10-7~10-8Pa。
weijianshaolaizikuosanbengqianjideqitifankuosanhezudangjixiebengyoudefankuosanduijixianzhenkongdudeyingxiang，kezaikuosanbengqianjishenlianyitaichousuxiaodekuosanbeng，yijiangdiyasuobi，jianxiaofankuosan。ruzaikuosanbengjinqikoushangbianzengshetaishenghuajing，kejinyibujiangdilaizikuosanbengdedanqifenyali，nenghuode10-11Pa的超高真空。
(2)分子泵超高真空機組
以分子泵為主泵的超高真空機組其極限真空度為10-8Pa，特點是啟動快，油的汙染小。
在機組內增加液氮冷阱，可以增大抽速。機械泵出口處設有水冷阱，可以防止油蒸氣進入係統。
(3)無油超高真空機組
不用油做工作液和不用有機材料密封的真空機組稱為無油超高真空機組。常用的主泵有低溫泵、鈦泵、濺射離子泵等，可得到極限真空度10-7~10-8Pa。與有油真空機組比較，它有如下優點:
①可獲得清潔真空、無汙染源;
②當無油真空泵啟動後，即可隔離預抽泵;
③如突然抽氣停止，不會汙染係統;
④無油、無聲、無振動，改善了工作環境;
⑤極限真空度高，抽速大，抽氣時間短。
