極限真空是羅茨真空泵的(de)重(zhong)要(yao)參(can)數(shu)之(zhi)一(yi)，其(qi)含(han)義(yi)是(shi)在(zai)嚴(yan)密(mi)封(feng)閉(bi)泵(beng)的(de)入(ru)口(kou)時(shi)，經(jing)較(jiao)長(chang)時(shi)間(jian)運(yun)轉(zhuan)所(suo)能(neng)達(da)到(dao)的(de)最(zui)高(gao)真(zhen)空(kong)度(du)。因(yin)常(chang)用(yong)壓(ya)力(li)表(biao)示(shi)，故(gu)又(you)稱(cheng)極(ji)限(xian)壓(ya)力(li)。從(cong)特(te)性(xing)曲(qu)線(xian)中(zhong)可(ke)以(yi)看(kan)出(chu)，當(dang)羅(luo)茨(ci)真(zhen)空(kong)泵(beng)達(da)到(dao)極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)時(shi)，通(tong)過(guo)泵(beng)入(ru)口(kou)的(de)正(zheng)向(xiang)氣(qi)流(liu)量(liang)為(wei)零(ling)，即(ji)泵(beng)的(de)實(shi)際(ji)抽(chou)速(su)為(wei)零(ling)。如(ru)果(guo)與(yu)前(qian)級(ji)真(zhen)空(kong)串(chuan)聯(lian)工(gong)作(zuo)，由(you)於(yu)氣(qi)流(liu)連(lian)續(xu)性(xing)，此(ci)時(shi)前(qian)級(ji)泵(beng)也(ye)同(tong)時(shi)達(da)到(dao)極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)。
羅(luo)茨(ci)真(zhen)空(kong)泵(beng)在(zai)作(zuo)為(wei)機(ji)械(xie)增(zeng)壓(ya)泵(beng)使(shi)用(yong)時(shi)，其(qi)極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)與(yu)前(qian)級(ji)真(zhen)空(kong)泵(beng)有(you)關(guan)，選(xuan)擇(ze)不(bu)同(tong)的(de)前(qian)級(ji)泵(beng)可(ke)以(yi)獲(huo)得(de)不(bu)同(tong)的(de)極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)。用(yong)水(shui)環(huan)真(zhen)空(kong)泵(beng)作(zuo)前(qian)級(ji)泵(beng)時(shi)，單(dan)級(ji)羅(luo)茨(ci)真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)為(wei)1Torr左右，雙級羅茨真空泵可達2*10-2Torr,用滑閥真空泵作前級泵時，單級羅茨真空泵的極限真空為5*10-4Torr,雙級羅茨真空泵可達到1*10-5Torr。
直排大氣的濕式羅茨真空泵的極限真空不高，一般約為60~40Torr，qizhenkongdugaodiyubengzhizaodezhiliangyouguan。buguozhezhongluocizhenkongbengchangchangshiyongzaichoucuzhenkongdechanghe，suoyaoqiudezhenkongdubijixianzhenkongdideduo，yincizhezhongbengdejixianzhenkongduishiyonglaishuoyiyibuda。
在試驗羅茨真空泵的極限真空時，按照部頒標準規定一般要求開動10~20min以yi達da到dao極ji限xian真zhen空kong，同tong時shi還hai要yao注zhu意yi泵beng的de濕shi度du應ying保bao持chi正zheng常chang。新xin出chu廠chang的de羅luo茨ci真zhen空kong泵beng達da到dao極ji限xian壓ya強qiang的de時shi間jian可ke能neng更geng長chang一yi些xie，因yin為wei零ling件jian上shang可ke能neng有you易yi揮hui發fa的de清qing洗xi液ye，或huo因yin泵beng的de潤run滑hua油you吸xi收shou了le水shui份fen和he氣qi體ti，需xu要yao一yi定ding的de時shi間jian才cai能neng充chong分fen揮hui發fa。最zui好hao能neng試shi驗yan二er、三次，以便加以比較。
