玻璃油擴散泵目前廣泛用於試驗室的真空設備、長排車和一些生產設備上。由於玻璃係統具有透明、便於觀察內部情況,容易檢漏、補bu漏lou,製zhi做zuo方fang便bian,價jia格ge便bian宜yi,吸xi放fang氣qi少shao且qie易yi於yu除chu氣qi等deng優you點dian,因yin此ci盡jin管guan它ta容rong易yi破po碎sui,玻bo璃li壁bi易yi於yu滲shen氦hai,體ti積ji不bu能neng做zuo得de很hen大da因yin而er抽chou速su不bu能neng很hen大da,但dan仍reng在zai中zhong小xiao抽chou速su範fan圍wei內nei大da量liang使shi用yong著zhe。
我(wo)國(guo)玻(bo)璃(li)油(you)擴(kuo)散(san)泵(beng)的(de)生(sheng)產(chan)廠(chang)主(zhu)要(yao)是(shi)武(wu)漢(han)玻(bo)璃(li)廠(chang)和(he)上(shang)海(hai)玻(bo)璃(li)廠(chang)。以(yi)武(wu)漢(han)玻(bo)璃(li)廠(chang)生(sheng)產(chan)的(de)玻(bo)璃(li)油(you)擴(kuo)散(san)泵(beng)為(wei)例(li)。玻(bo)璃(li)油(you)擴(kuo)散(san)泵(beng)的(de)一(yi)種(zhong)改(gai)進(jin)擴(kuo)散(san)增(zeng)壓(ya)泵(beng):盡管玻璃油擴散泵已發明多年,但為了擴大使用仍需不斷改進。改進的方向大致是在提高其極限真空度和增大抽氣範圍等方麵。
例如真空冶煉、半導體提純、特種電真空器件和電光源的排氣都要求在10-2~10-5托之間迅速排除大量氣體,實驗室為創造無噪聲、無振動的環境需要長時間內停止機械泵的工作,這些都提出了需要極限真空度高、排pai氣qi量liang大da和he前qian級ji耐nai壓ya高gao的de排pai氣qi設she備bei等deng特te殊shu要yao求qiu。而er任ren何he單dan獨du的de油you增zeng壓ya泵beng或huo油you擴kuo散san泵beng,是shi很hen難nan同tong時shi滿man足zu上shang述shu要yao求qiu的de。油you擴kuo散san增zeng壓ya泵beng就jiu能neng承cheng擔dan這zhe一yi任ren務wu。
玻璃超高真空油擴散增壓泵,在原超高真空擴散泵的基礎上,采取改進擴壓器出口管道直徑,改變水冷方法,增大油鍋麵積,增加二、三級噴嘴擴散麵積,使用雙層水冷帽,並使用275矽油等措施,其極限真空度可抽到5x10-10托,達到普通擴散泵水平。PY-4型泵就是一例,工作範圍擴寬到10-1~10-10托之間,能在1x10-3托到5x10-9托達滿抽速,這樣使用就方便了。它可直接與機械泵串聯使用,抽速150~200升/秒;在1x10-3托時的最大前級耐壓達1.2托,這在玻璃油擴散泵的改進方麵是個可喜的努力。