英國某公司生產的真空鍍膜機有如下特點:
真空室內分為上下兩室,上麵卷繞室真空度為5x10-2Torr,下麵蒸發室真空度為1x10-3~2x10-4Torr,兩室之間是隔板,隔板與中間冷輥之間間隙十分重要,間隙值取1.5mm,即可以很好的維持上下兩室壓力差,減少漏氣量。
四台直流電機驅動卷繞係統,特別當生產5um以下薄膜時,張力控製比較準確,張力精度1%,最大張力55kg,最小張力5.5kg。
良好的真空鍍鋁條件,要有穩定的蒸發液麵和較低的鋁的蒸發溫度,當蒸發率不變時(g/min),蒸發皿溫度和蒸發麵積成反比,使用大蒸發皿,不但皿數可以減少,而且溫度也能降低。這時減少鋁液噴濺,對基料不易變形有利。
沉積在基料上的鋁隻占鋁蒸發總量的30%,而70%的(de)鋁(lv)散(san)射(she)在(zai)蒸(zheng)發(fa)室(shi)內(nei)部(bu)表(biao)麵(mian)上(shang),汙(wu)染(ran)了(le)機(ji)器(qi),為(wei)了(le)便(bian)於(yu)清(qing)理(li)殘(can)鋁(lv),鍍(du)鋁(lv)的(de)真(zhen)空(kong)室(shi)設(she)計(ji)成(cheng)可(ke)兩(liang)麵(mian)開(kai)出(chu),一(yi)個(ge)工(gong)作(zuo)周(zhou)期(qi)完(wan)畢(bi)後(hou),一(yi)麵(mian)開(kai)出(chu)上(shang)部(bu)卷(juan)繞(rao)機(ji)構(gou)卸(xie)卷(juan),另(ling)一(yi)麵(mian)是(shi)下(xia)麵(mian)蒸(zheng)發(fa)機(ji)構(gou)開(kai)出(chu)清(qing)理(li)蒸(zheng)發(fa)室(shi)。
冷卻輥采用乙二醇作冷卻循環介質,溫度為一30t^-20℃。
真空鍍膜機內,為捕集在真空過程中基料揮發的水蒸汽應使液氮致冷,這種致冷方法可以在12min內,溫度下降至-196℃;。抽真空時間愈少,真空度愈穩定,且液氮耗量每小時50L。
泵組有三種泵,其中抽氣量為47000L/s的油擴散泵一台,抽氣量為850Om3/h的羅茨泵三台,抽氣量為1800m3/h的機械增壓泵二台,抽氣量為5lOm3/h的旋轉泵二台,抽真空時間10~l5min。