當電子通過真空容器中的稀薄氣體時，就會和氣體分子碰撞.當(dang)電(dian)子(zi)能(neng)量(liang)小(xiao)時(shi)，碰(peng)撞(zhuang)後(hou)隻(zhi)改(gai)變(bian)兩(liang)者(zhe)的(de)運(yun)動(dong)速(su)度(du)和(he)方(fang)向(xiang)。當(dang)電(dian)子(zi)具(ju)有(you)足(zu)夠(gou)大(da)的(de)能(neng)量(liang)，大(da)於(yu)氣(qi)體(ti)電(dian)離(li)電(dian)位(wei)時(shi)，電(dian)子(zi)高(gao)速(su)運(yun)動(dong)和(he)氣(qi)體(ti)分(fen)子(zi)碰(peng)撞(zhuang)，使(shi)氣(qi)體(ti)分(fen)子(zi)電(dian)離(li)，所(suo)產(chan)生(sheng)的(de)正(zheng)離(li)子(zi)數(shu)與(yu)氣(qi)體(ti)的(de)密(mi)度(du)成(cheng)正(zheng)比(bi).而壓強p=nKT在某一溫度下，n和p成正比。如能測量電離產生離子流的大小，就可接地測量了真空度。
電離真空計就是根據這個原理製成的。如果高速電子是由加熱陰極發射出來，就稱為熱陰極電離真空計.
熱陰極電離計測量電路由以下三部分組成。
①離子流放大器。
②發射電流穩定器。
③電壓穩定器，以保持規管參數的穩定。
熱陰極電離計的特點是:可測氣體和蒸氣壓強能遠距離連續測量，真空度愈高，靈敏度愈
高。但讀數與氣體種類有關，陰極在測量壓強低於10-3Pa時易燒毀。
為了使用方便，目前有複合真空計，它將熱偶計和電離計測量部分組裝在一起，但使用時
仍是各自獨立。
