在真空電子束焊機中，真空係統還常采用羅茨泵作為增壓泵進行差級抽氣。羅茨泵是一種雙轉子容積分子抽氣機，除了容積作用外，還應用了分子抽氣機的工作原理。
在(zai)高(gao)的(de)壓(ya)力(li)下(xia)，由(you)於(yu)氣(qi)體(ti)的(de)平(ping)均(jun)自(zi)由(you)路(lu)徑(jing)比(bi)間(jian)隙(xi)小(xiao)，排(pai)出(chu)的(de)氣(qi)體(ti)會(hui)大(da)量(liang)地(di)返(fan)回(hui)，所(suo)以(yi)真(zhen)空(kong)泵(beng)不(bu)能(neng)很(hen)好(hao)地(di)工(gong)作(zuo)，為(wei)使(shi)這(zhe)種(zhong)真(zhen)空(kong)泵(beng)能(neng)夠(gou)正(zheng)常(chang)工(gong)作(zuo)，一(yi)般(ban)用(yong)旋(xuan)片(pian)式(shi)機(ji)械(xie)泵(beng)作(zuo)為(wei)前(qian)置(zhi)真(zhen)空(kong)泵(beng)。
當前置泵出口處的壓力降到100Pa左右時，羅茨泵開始工作，其最大抽氣速率出現在1.33Pashi，zheshiqitidepingjunziyoulujingxianzhudichaoguolejianxidekuandu，dadazengjialefanhuiqitideliuzu，erqietadejinqiyaliyuchukoudeqianzhizhenkongyalichengzhixianguanxi。
羅茨泵在1.33×10-2~1.33Pa壓力範圍內有很高的抽速，可達40000L/S，能neng迅xun速su排pai出chu突tu然ran放fang出chu的de氣qi體ti。在zai這zhe一yi壓ya力li範fan圍wei內nei旋xuan轉zhuan式shi機ji械xie泵beng的de抽chou速su已yi經jing很hen小xiao了le，而er油you擴kuo散san泵beng則ze剛gang剛gang開kai始shi工gong作zuo，因yin此ci這zhe兩liang種zhong泵beng在zai抽chou氣qi速su率lv上shang的de脫tuo節jie，可ke在zai其qi問wen加jia一yi級ji羅luo茨ci真zhen空kong泵beng來lai解jie決jue，因yin此ci又you稱cheng它ta為wei增zeng壓ya泵beng。
