近年來，發現用機械真空泵hekuosanbengchouqidezhenkongxitong，youyutayouweizudeyouzhengqifanliurubeichourongqihuoqijianzhong，shixuduodianziqijiandexingnenghejishuzhibiaoshoudaoyanzhongyingxiang。liru，dianziguandeyanghuawuyinji，yinyouzhengqierjiangdiqifashexingnengheshouming，gezhongdagonglvgaodianyadianziguan，yinyouzhengqidecunzaierrongyidianjichuan;廣guang播bo電dian台tai用yong的de耐nai高gao壓ya真zhen空kong電dian容rong，因yin泊bo蒸zheng汽qi的de存cun在zai而er顯xian著zhu降jiang低di其qi耐nai壓ya指zhi標biao，油you蒸zheng汽qi在zai許xu多duo地di方fang，產chan生sheng顯xian著zhu的de不bu利li影ying響xiang。因yin此ci，用yong於yu這zhe些xie方fang麵mian的de真zhen空kong係xi統tong，要yao求qiu改gai用yong無wu油you真zhen空kong係xi統tong來lai代dai替ti，即ji不bu使shi用yong用yong真zhen空kong油you密mi封feng和he用yong真zhen空kong油you作zuo工gong作zuo液ye的de抽chou氣qi工gong具ju(如機械泵、擴散泵)，而采用靠對氣體分子吸附作用，降低容器內壓強的吸附泵和欽泵來獲得所需的真空。
吸附泵是利用某些固體物質的多孔性表麵，在冷狀態下對氣體的強烈吸附作用，而使封閉係統獲得10-2毫米水銀柱的低真空的，它是用作無油係統的前級。
吸附泵所用的吸附物質，一般除可用活性碳外，大多使用分子篩(人造沸石)來吸附氣體，獲得真空。因為，當用液氮冷卻後，每一公斤的分子篩，能把50-100升的容器從大氣抽成10-2毫米水銀柱的真空，所以，它是一種吸氣泛很大的泵，而它在經過400℃左右的烘烤後，其所吸的氣體就又重新放出(叫做活化或再生)，恢複再吸氣的能力。目前常用的5A分子篩(吸收容量大，適合排空氣，但需經常“活化，，其平均孔徑約為5埃)和13X分子篩(其吸附容且雖比5A分子篩小，但能吸收油蒸汽分子)。 |
