近年來，已開發出從大氣壓到高真空，僅用一台泵就能實現的新型真空泵。但一般來說，為了獲得高真空、超高真空及極高真空，還是串聯多台真空泵構成機組形式來完成抽氣任務的。因此，正確了解泵的工作原理、主要性能、結構特點以及分類等，對於用戶選擇經濟適用的真空泵是非常重要的。
真空泵是用以產生、改善和維持真空的裝置。按其工作原理，基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。
氣體傳輸泵，它是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以達到抽氣口的的真空泵。這種氣體傳輸泵含有容積泵和動量傳輸泵兩大類.
1容積真空泵
容積真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣、壓縮和排氣的裝置。氣體排出前被壓縮，這種泵分為往複式和旋轉式兩種。
(1)往複式真空泵，利用泵腔內活塞的往複運動，將氣體吸入、壓縮並排出。因此，又稱它為活塞式真空泵。
(2)旋轉式真空泵，利用泵腔內活塞的旋轉運動，將氣體吸入、壓縮並排出.屬於此類的泵種很多.
1)油(you)封(feng)式(shi)機(ji)械(xie)泵(beng)，它(ta)是(shi)利(li)用(yong)油(you)類(lei)密(mi)封(feng)各(ge)種(zhong)運(yun)動(dong)部(bu)件(jian)的(de)間(jian)隙(xi)，減(jian)少(shao)有(you)害(hai)空(kong)間(jian)的(de)一(yi)種(zhong)旋(xuan)轉(zhuan)式(shi)容(rong)積(ji)真(zhen)空(kong)泵(beng)。這(zhe)種(zhong)泵(beng)通(tong)常(chang)帶(dai)有(you)氣(qi)鎮(zhen)裝(zhuang)置(zhi)，故(gu)稱(cheng)氣(qi)鎮(zhen)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)，按(an)其(qi)結(jie)構(gou)特(te)點(dian)分(fen)為(wei):旋片泵，定片泵，滑閥泵，餘擺線泵以及多室旋片泵等。
2)幹式真空泵.目前所謂的幹式真空，一般通用的說法是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力範圍內工作的真空泵;在泵的抽氣流道(如泵腔)中，不能使用任何油類和密封液體.排氣口與大氣相通，能夠連續向大氣中排氣的泵，即稱為幹式真空泵。按其工作原理分，也有幹式容積真空泵，如多級羅茨泵、多級活塞泵、爪型泵、螺杆泵、渦旋泵等;此外還有動最傳輸式幹式泵二如渦輪幹式泵，離心幹式泵等.這種泵的抽氣不再有油的汙染了，是近期開發研製較多的泵種。
3)液環真空泵，帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當轉子旋轉時，把液體(水或油類)拋向泵殼形成與泵殼同心的液環，液環同轉子上的葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積實現吸氣、壓縮和排氣.由於液環起到壓縮氣體的作用故又稱它為液體活塞真空泵。
4)羅茨真空泵，泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉或多葉形的轉子，轉子間、轉子與泵殼內壁之間均保持有一定的間隙。它屬於無內壓縮式的真空泵.按用途又分為濕式羅茨泵，直排大氣式羅茨泵和機械增壓泵等類型。
