真空係統啟動時，要先用機械泵將係統抽至低真空，再接通擴散泵冷凝水.然後逐漸加熱使油沸騰並正常回流後再啟動油擴散泵。關閉油擴散泵時.需先切斷加熱器電源，待油停止沸騰後再關冷凝水，再關閉擴散泵前後兩個活塞，接著將機械泵的抽氣日通大氣後才能停機械泵.通常在機械泵和油擴散泵之前安一冷阱，以免有機物、水汽等雜質進入機械泵，影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用幹冰、液氮等。
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