1．抽氣速率(體積流率)(s單位：m3・min-1、m3・s-1、L・s-1)

當dang泵beng裝zhuang有you標biao準zhun試shi驗yan罩zhao並bing按an規gui定ding條tiao件jian工gong作zuo時shi，從cong試shi驗yan罩zhao流liu過guo的de氣qi體ti流liu量liang與yu在zai試shi驗yan罩zhao上shang指zhi定ding位wei置zhi測ce得de的de平ping衡heng壓ya力li之zhi比bi。簡jian稱cheng泵beng的de抽chou速su。即ji在zai一yi定ding的de壓ya力li、溫度下
，真空泵在單位時間內從被抽容器中抽走的氣體體積。

2．極限壓力（極限真空）（單位：Pa/MPa/mmHg）

泵(beng)裝(zhuang)有(you)標(biao)準(zhun)試(shi)驗(yan)罩(zhao)並(bing)按(an)規(gui)定(ding)條(tiao)件(jian)工(gong)作(zuo)，在(zai)不(bu)引(yin)入(ru)氣(qi)體(ti)正(zheng)常(chang)工(gong)作(zuo)的(de)情(qing)況(kuang)下(xia)，趨(qu)向(xiang)穩(wen)定(ding)的(de)最(zui)低(di)壓(ya)力(li)。即(ji)真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)入(ru)口(kou)端(duan)經(jing)過(guo)充(chong)分(fen)抽(chou)氣(qi)後(hou)所(suo)能(neng)達(da)到(dao)的(de)最(zui)低(di)的(de)穩(wen)定(ding)的(de)壓(ya)力(li)。

3．起動壓力

泵無損壞起動並有抽氣作用的壓力

4．前級壓力

排氣壓力低於一個大氣壓力的真空泵的出口壓力。

5．最大前級壓力

超過了能使泵損壞的前級壓力。

6．最大工作壓力

對應最大抽氣量的入口壓力。在此壓力下
，泵能連續工作而不惡化或損壞・

7．抽氣量（Q單位：Pa・m3・S-1
；Pa・L・S-1）

流經泵入口的氣體流量。

8．壓縮比

泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

綜上所述：真空泵的抽氣速率和極限壓力兩個參量是在實際應用中選配真空泵的最重要的參量。