往複式真空泵所吸入的氣體壓強遠遠低於絕對大氣壓，因此須在壓縮比很大的情況下操作.
餘隙中殘留氣體的影響很大，通常認為往複式真空泵的餘隙必須<3%。為減少餘隙氣體的影響，真空泵在結構上做了專門處理。即在真空泵壁上設置了平衡通道.當活塞排氣過程剛完成時，便能連通平衡通道。使餘隙中部分氣體流至活塞另一側，降低餘隙氣體的壓力.提高生產能力。
另外，真空泵的吸氣閥、排氣閥與往複式壓縮機相比.由於氣缸內外壓差小，要求啟閉的阻力更小，所以采用與活塞運動配合嚴密的滑塊機構，這樣可以提高泵的效率.
往複式真空泵的真空度越高，則吸氣壓強的絕對氣壓就越小.因yin而er在zai一yi定ding容rong積ji的de氣qi缸gang中zhong能neng吸xi入ru的de氣qi量liang就jiu越yue少shao，所suo以yi當dang吸xi氣qi量liang增zeng大da時shi，真zhen空kong度du必bi然ran下xia降jiang。為wei了le保bao持chi一yi定ding的de真zhen空kong度du使shi生sheng產chan不bu受shou影ying響xiang，要yao求qiu真zhen空kong管guan道dao係xi統tong不bu漏lou氣qi，設she備bei不bu泄xie漏lou。
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