真空泵作(zuo)為(wei)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)行(xing)業(ye)的(de)一(yi)種(zhong)主(zhu)要(yao)的(de)生(sheng)產(chan)設(she)備(bei)

，愈(yu)來(lai)愈(yu)要(yao)求(qiu)安(an)全(quan)可(ke)靠(kao)。當(dang)烴(ting)油(you)密(mi)封(feng)的(de)旋(xuan)轉(zhuan)泵(beng)用(yong)於(yu)光(guang)刻(ke)去(qu)膠(jiao)等(deng)有(you)氧(yang)的(de)場(chang)合(he)，有(you)時(shi)會(hui)發(fa)生(sheng)爆(bao)炸(zha)。原(yuan)子(zi)化(hua)的(de)油(you)霧(wu)、熱的油蒸氣、摩擦、壓縮、較高的溫度

、外物、可ke能neng的de靜jing電dian等deng，一yi旦dan與yu氧yang結jie合he便bian可ke能neng危wei害hai環huan境jing。而er這zhe些xie因yin素su，真zhen空kong泵beng裏li都dou有you。在zai泵beng裏li采cai用yong氮dan等deng惰duo性xing氣qi體ti作zuo為wei氣qi爆bao，並bing用yong氮dan來lai減jian小xiao油you箱xiang裏li的de氧yang濃nong度du(使氧濃度低於25%)，可使發生爆炸的危險性減小.這個方法已被半導體製造行業采用.而英國薩西克斯郡Edwards公司則推出了“福姆勃林”(Fomblin)惰性潤滑流體，它不管用在什麼場合
，同氧接觸都是沒有問題的。

新的真空泵將更能適應集成電路製造工藝中的腐蝕要求，例如可用陶瓷
、耐熔金屬和貴金屬製造。

新xin的de泵beng將jiang保bao持chi現xian在zai的de泵beng的de全quan部bu優you點dian而er沒mei有you現xian在zai的de泵beng的de缺que點dian。低di溫wen泵beng方fang麵mian，低di溫wen發fa生sheng器qi和he壓ya縮suo機ji兩liang者zhe的de總zong可ke靠kao性xing將jiang有you進jin一yi步bu提ti高gao。粗cu抽chou機ji械xie泵beng方fang麵mian，清qing沽gu度du將jiang起qi碼ma提ti高gao一yi個ge數shu量liang級ji。據ju日ri本ben一yi家jia電dian子zi公gong司si估gu計ji
，在zai今jin後hou的de幾ji年nian裏li
，渦wo輪lun泵beng和he低di溫wen泵beng將jiang替ti代dai擴kuo散san泵beng，因yin為wei它ta們men的de清qing潔jie度du較jiao高gao。新xin型xing的de磁ci懸xuan浮fu軸zhou承cheng渦wo輪lun分fen子zi泵beng將jiang用yong於yu半ban導dao體ti製zhi造zao行xing業ye。

bengjianghuiyoujiaoduodejisuanjijiekou，shenzhichengweizizhenduanxing。cuchouyouyuyouyanzhonghuaxuefushiwenti，qiyouziwojiancenenglideyelunbengjiangtidaihuosaibeng

，erhuosaibengjiangchengweiluohoudejishudaibiao。zhanwang50年後，許多半導體製造甚至可以帶到外層空間去進行!未來的真空泵將僅僅是工藝處理室後麵的一隻麵向著深遠莫測外層空間的閥門而已!