電子能譜儀對真空泵中真空度的要求是目前所有大型分析儀器中最高的，一般要優於10-7Pa以yi上shang，一yi方fang麵mian是shi因yin為wei樣yang品pin發fa射she出chu的de光guang電dian子zi能neng最zui很hen低di，為wei了le減jian少shao電dian子zi向xiang檢jian測ce器qi運yun動dong過guo程cheng中zhong與yu殘can留liu氣qi體ti發fa生sheng碰peng撞zhuang而er損sun失shi信xin號hao強qiang度du，要yao求qiu整zheng個ge能neng譜pu儀yi各ge部bu件jian都dou處chu於yu真zhen空kong條tiao件jian;另(ling)一(yi)方(fang)麵(mian)電(dian)子(zi)能(neng)譜(pu)儀(yi)是(shi)一(yi)種(zhong)表(biao)麵(mian)分(fen)析(xi)技(ji)術(shu)，從(cong)樣(yang)品(pin)中(zhong)發(fa)射(she)出(chu)的(de)攜(xie)帶(dai)樣(yang)品(pin)信(xin)息(xi)的(de)光(guang)電(dian)子(zi)通(tong)常(chang)來(lai)自(zi)表(biao)麵(mian)層(ceng)幾(ji)十(shi)個(ge)原(yuan)子(zi)層(ceng)厚(hou)度(du)，因(yin)此(ci)需(xu)要(yao)提(ti)供(gong)一(yi)個(ge)原(yuan)子(zi)數(shu)址(zhi)級(ji)的(de)清(qing)沽(gu)表(biao)麵(mian)並(bing)能(neng)在(zai)一(yi)定(ding)時(shi)間(jian)內(nei)保(bao)持(chi)這(zhe)個(ge)清(qing)潔(jie)度(du)，任(ren)何(he)表(biao)麵(mian)的(de)沾(zhan)汙(wu)都(dou)將(jiang)對(dui)分(fen)析(xi)產(chan)生(sheng)不(bu)利(li)的(de)影(ying)響(xiang)。很(hen)顯(xian)然(ran)，樣(yang)品(pin)表(biao)麵(mian)受(shou)汙(wu)染(ran)的(de)程(cheng)度(du)與(yu)環(huan)境(jing)真(zhen)空(kong)度(du)有(you)關(guan)，當(dang)真(zhen)空(kong)度(du)為(wei)10-5Pa時，3s內樣品表麵便會吸附一層氣體分子，而當真空度為10-7Pa時，吸附一個單分子層則需約lh，這個時間已能滿足分析的要求.一個好的真空係統應能滿足高真空度(10-7Pa)、抽氣速率大、工作時噪聲小、無振動、能烘烤等要求。目前用得較多的真空泵有油擴散泵、渦能分子泵、升華鈦泵等。
