肯定有人會問，何為機械泵？不管是機械泵還是擴散泵都屬於真空泵，一般機械泵達到的真空泵較低，在10-4乇左右，而擴散泵的真空度較高，在10-8乇左右，擴散泵需要機械泵作為前級泵，以達到更高的真空度，就像水環真空泵配羅茨真空泵組成羅茨水環真空機組一樣，隻是真空度的不同而已，一般抽取儲存液氧的氧氣瓶裏麵夾層的真空需要這種很高的真空機組。
關於真空度的測量，用熱偶計(或高壓強電離計)測中真空，用電離計測高真空。有一種玻璃高真空係統。其特點是玻璃係統製造方便、內(nei)部(bu)清(qing)潔(jie)，適(shi)合(he)於(yu)小(xiao)型(xing)科(ke)研(yan)實(shi)臉(lian)。為(wei)避(bi)免(mian)機(ji)械(xie)泵(beng)振(zhen)動(dong)的(de)影(ying)響(xiang)，機(ji)械(xie)泵(beng)與(yu)雙(shuang)通(tong)活(huo)栓(shuan)之(zhi)間(jian)采(cai)用(yong)橡(xiang)皮(pi)管(guan)連(lian)接(jie)。被(bei)排(pai)容(rong)器(qi)接(jie)在(zai)台(tai)麵(mian)上(shang)部(bu)，並(bing)用(yong)烘(hong)箱(xiang)蓋(gai)住(zhu)烘(hong)烤(kao)。雙(shuang)通(tong)活(huo)栓(shuan)的(de)接(jie)法(fa)，應(ying)使(shi)機(ji)械(xie)泵(beng)或(huo)通(tong)擴(kuo)散(san)泵(beng)、或通大氣。這樣，當係統使用完畢時，將活栓通向大氣，防止機械泵返油;tongshikuosanbengdeyibaochizhenkong。youxiexitongxuyaozhenkongdujiaogao，kezaikuosanbengshangjiayedanlengjing。chouqibengyongjixiebenghejinshukuosanbeng，zhenkongduceliangyongreoujihedianliji。yubolixitongbutongzhichuzaiyu：
1)由於真空室較大，如預抽時氣體也要通過擴散泵再到機械泵，將因路程長而需要較多時
間,需設置一預抽閥，使真空室可由此閥直接通機械泵。預抽時，開啟此閥將真空室抽氣，達到預抽要求後，將此閥關閉;
2)擴散泵較大，返油較嚴重，通常需要加擋板，如要求更高真空，則可加液氮冷阱;
3)有前置真空容器起前級壓強穩定作用;
4)采用電磁閥，遇到突然停電時自動將真空係統封閉。
