真空泵是用來從設備或生產係統中向外抽氣，使設備或生產係統處於真空下工作的機器。真空泵的主要工作性能參數有:抽氣速率、極限真空度、軸功率及轉速等。真空泵的抽氣速率是指單位時間內能抽走的氣體容積(米3/時)。極限真空度是指泵能達到的最高真空度。
化工生產中常用的真空泵有:往複式真空泵、水環式真空泵和噴射泵等幾種。
往複式真空係
往複式真空泵的結構和活塞式壓縮機基本相同。
真空泵的特點是壓力比很大。例如要達到95%的真空，名義上吸氣時的絕對壓力為0.005MPa,而排氣壓力卻為0.1Mpa，其壓力比為20。由於壓力比很大，殘存在餘隙容積中的氣體膨脹後占據的容積就很大，使吸氣量大為減少，氣缸的有效利用率很低。
為(wei)了(le)解(jie)決(jue)上(shang)述(shu)問(wen)題(ti)，一(yi)般(ban)都(dou)在(zai)氣(qi)缸(gang)兩(liang)端(duan)的(de)缸(gang)壁(bi)上(shang)開(kai)幾(ji)條(tiao)比(bi)活(huo)塞(sai)厚(hou)度(du)長(chang)一(yi)些(xie)的(de)溝(gou)槽(cao)，在(zai)活(huo)塞(sai)運(yun)行(xing)到(dao)止(zhi)點(dian)位(wei)置(zhi)時(shi)，用(yong)來(lai)平(ping)衡(heng)活(huo)塞(sai)兩(liang)側(ce)氣(qi)缸(gang)的(de)壓(ya)力(li)。如(ru)當(dang)活(huo)塞(sai)運(yun)行(xing)到(dao)左(zuo)止(zhi)點(dian)時(shi)，左(zuo)側(ce)氣(qi)缸(gang)排(pai)氣(qi)終(zhong)了(le)，餘(yu)隙(xi)容(rong)積(ji)內(nei)殘(can)存(cun)壓(ya)力(li)較(jiao)高(gao)的(de)氣(qi)體(ti)，右(you)側(ce)缸(gang)內(nei)吸(xi)氣(qi)終(zhong)了(le)，壓(ya)力(li)較(jiao)低(di)，由(you)於(yu)溝(gou)槽(cao)的(de)連(lian)通(tong)作(zuo)用(yong)，左(zuo)側(ce)缸(gang)餘(yu)隙(xi)容(rong)積(ji)內(nei)的(de)氣(qi)體(ti)壓(ya)力(li)隨(sui)之(zhi)降(jiang)低(di)。這(zhe)樣(yang)，就(jiu)使(shi)活(huo)塞(sai)返(fan)程(cheng)運(yun)行(xing)時(shi)，殘(can)留(liu)氣(qi)體(ti)膨(peng)脹(zhang)占(zhan)據(ju)的(de)容(rong)積(ji)大(da)為(wei)減(jian)小(xiao)，使(shi)吸(xi)氣(qi)量(liang)增(zeng)大(da)。活(huo)塞(sai)運(yun)行(xing)到(dao)右(you)止(zhi)點(dian)也(ye)是(shi)如(ru)此(ci)。
往複真空泵適於抽送不含固體顆粒、無腐蝕性的氣體。這種真空泵的抽氣速率大、真空度高，在化學工業中廣泛應用。
我國生產的臥式往複真空泵，型號用w表示。有w-1至W-5五種規格。抽氣速率為65~770米3/時，極限真空度為750毫米汞柱。
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