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真空係統的氣體分析與分壓側量及應用範圍
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目前，真空獲得技術已由超高真空發展到10-10Pa-10-11Pa的de極ji高gao真zhen空kong階jie段duan。在zai超chao高gao真zhen空kong和he極ji高gao真zhen空kong下xia，容rong器qi內nei部bu的de氣qi體ti組zu分fen和he容rong器qi內nei部bu的de表biao麵mian狀zhuang態tai關guan係xi十shi分fen密mi切qie。在zai研yan究jiu這zhe種zhong條tiao件jian下xia的de真zhen空kong物wu理li和he真zhen空kong化hua學xue過guo程cheng時shi，除chu了le需xu要yao了le解jie容rong器qi內nei部bu的de表biao麵mian狀zhuang態tai外wai，還hai必bi須xu知zhi道dao容rong器qi內nei的de氣qi體ti組zu分fen和he相xiang應ying的de分fen壓ya力li。
超高真空係統的全壓力側童除了最早采用的B-A型超高真空規外，又發展了許多極高真空規，如冷陰極磁控規、抑製規和彎注規等。但對許多研究工作來說，僅靠全壓力數據是不夠的。例如真空係統中的吸附、凝結、tuofuguochengdeng，tashejidaorongqibiaomianhexitongneibuwuzhihecanyuqitifenzidexianghuzuoyong。zheshihuodexitongneiqitizufenhefenyalideshujubiquanyalishujugengnengshuomingwenti。
真空條件下的氣體分析和分壓力測量通常是由動態質譜計完成的。
第一個動態質譜計―射頻速度過濾器是於1926年提出的。其它的動態質譜計如射頻質譜計、回旋質譜計、飛行時間質譜計和四極質譜計都是於20世紀40年代末到50年代初提出的。早期的儀器主要用於同位素測量、帶(dai)電(dian)粒(li)子(zi)的(de)質(zhi)荷(he)比(bi)測(ce)量(liang)。但(dan)當(dang)時(shi)正(zheng)值(zhi)真(zhen)空(kong)技(ji)術(shu)處(chu)於(yu)向(xiang)超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong)發(fa)展(zhan)的(de)重(zhong)要(yao)階(jie)段(duan)，因(yin)此(ci)這(zhe)些(xie)質(zhi)譜(pu)計(ji)出(chu)現(xian)不(bu)久(jiu)就(jiu)被(bei)作(zuo)為(wei)專(zhuan)用(yong)的(de)真(zhen)空(kong)質(zhi)譜(pu)計(ji)了(le)。
zhenkongfenxizhipujianqinengfoujinxingdingliangfenxi，kefenweicanqifenxiqihefenyaliji。suoweifenyalijishizhinengmanzuyidingdedingliangfenxijingduyaoqiudezhenkongfenxiqi。
應用範圍：
1.真空和衰麵物理研究
對(dui)於(yu)通(tong)常(chang)的(de)真(zhen)空(kong)研(yan)究(jiu)，真(zhen)空(kong)分(fen)析(xi)質(zhi)譜(pu)計(ji)的(de)主(zhu)要(yao)用(yong)途(tu)是(shi)分(fen)析(xi)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)內(nei)的(de)殘(can)餘(yu)氣(qi)體(ti)。而(er)對(dui)表(biao)麵(mian)研(yan)究(jiu)來(lai)說(shuo)，目(mu)前(qian)已(yi)逐(zhu)步(bu)將(jiang)真(zhen)空(kong)質(zhi)譜(pu)計(ji)和(he)低(di)能(neng)電(dian)子(zi)衍(yan)射(she)儀(yi)、俄歇電子譜儀、二次離子質譜計、化學分析電子譜儀和場致發射顯微鏡等儀器聯合使用，用來研究低壓力下的真空物理過程。通常在10-9Pa以至更低的壓力下進行分壓力側量。由於采用的真空係統多數為無油或少油的真空泵，所以一般並不要求質譜計有很寬的質量範圍。
2.專用器件（如電子顯微鏡、X射線管、陰極射線管和大型超高頻電真空器件)的de殘can氣qi分fen析xi在zai這zhe一yi類lei應ying用yong中zhong，不bu像xiang表biao麵mian物wu理li研yan究jiu那na樣yang，需xu要yao檢jian側ce那na麼me低di的de分fen壓ya力li，而er希xi望wang儀yi器qi具ju有you較jiao寬kuan的de工gong作zuo質zhi量liang範fan圍wei，至zhi少shao具ju有you能neng檢jian測ce真zhen空kong泵beng油you的de裂lie解jie物wu的de能neng力li。
3.薄膜工藝
製備薄膜時，用真空分析器控製其工藝過程是必要的。在燕發工藝中，主要是減少殘氣氣氛以防止氧化;在濺射工藝中則重視所充氣體純度，如控製氫和氧的雜質含量。 |
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