化工廠能抽水蒸汽和可凝性氣體的真空係統

此工藝中應用最廣泛的就是羅茨水環真空機組
，這種羅茨水環真空機組在化工行業應用十分普遍，可用於抽除腐蝕性氣體和有機溶劑。

但當抽除腐蝕性氣體時，羅茨真空泵的泵體和轉子以及水環式真空泵的泵體和葉輪都必須用316L不鏽鋼製成，或采用化學表麵處理技術在接觸工藝氣體部位塗上一層美多斯(NEDOX)。這種塗層的特點是耐磨性好、不粘、不剝落，經過熱處理後表硬度可達HV750~1000，塗層厚度為10~15μm。當這種羅茨水環真空機組需要抽除有機溶劑時，水環式真空泵的工作液必須與被抽溶劑相兼容，機械密封需采用四氟機封，並采用工作液閉式循環係統。