真空漏率測量的辦法是以示漏物質夜蓋被橙容器的整個可疑區(或者被檢容器內充人示漏物質)

，另一側抽真空(或是大氣);或是在被檢容器的內外兩側形成壓差(或示漏物質的濃度差)
，在低壓(或低濃度)側側2示漏物質的漏率
和濃度變化。

(1)加壓條件下容器漏率的測定

在加壓條件下測童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質譜檢漏儀法等。

(2)真空條件下容器漏率的測定

①利用接人真空容器的真空規、離子泵及殘氣分析質譜計來測定容器的漏率。

②可以選用流盆測量、壓力測量
、鹵素檢漏儀以及氮質譜檢漏儀等方法來測全漏率。

(3)密封件的無損檢漏

①盡量利用密封件上可用來指示密封器件內部壓力和示漏物質分壓力的規管和殘氣分析質譜計等進行檢漏。

②有些原來不是測量壓力的裝置，如:電子管、顯(xian)像(xiang)管(guan)等(deng)
，若(ruo)改(gai)換(huan)饋(kui)電(dian)方(fang)式(shi)，將(jiang)其(qi)電(dian)極(ji)接(jie)成(cheng)電(dian)離(li)規(gui)的(de)方(fang)式(shi)，測(ce)全(quan)出(chu)管(guan)內(nei)離(li)子(zi)流(liu)的(de)變(bian)化(hua)，便(bian)可(ke)知(zhi)管(guan)內(nei)壓(ya)力(li)的(de)變(bian)化(hua)率(lv)。大(da)批(pi)量(liang)生(sheng)產(chan)這(zhe)類(lei)器(qi)件(jian)時(shi)
，可(ke)以(yi)通(tong)過(guo)校(xiao)準(zhun)的(de)方(fang)法(fa)把(ba)離(li)子(zi)流(liu)的(de)變(bian)化(hua)率(lv)直(zhi)接(jie)換(huan)算(suan)成(cheng)漏(lou)率(lv)。

③如ru果guo密mi封feng件jian內nei部bu具ju有you可ke作zuo為wei示shi漏lou的de物wu質zhi時shi，采cai用yong動dong態tai法fa或huo靜jing態tai法fa對dui漏lou到dao外wai麵mian的de示shi漏lou物wu質zhi進jin行xing檢jian測ce，就jiu可ke測ce出chu漏lou孔kong來lai。通tong常chang這zhe類lei密mi封feng件jian內nei部bu的de示shi漏lou氣qi體ti的de分fen壓ya力li要yao比bi采cai用yong背bei壓ya法fa時shi的de壓ya力li為wei高gao。因yin此ci
，檢jian漏lou靈ling敏min度du高gao，費fei用yong低di。

④背壓法檢漏適用於成批生產小型密封件時的檢漏;可以使用鹵素檢漏儀，氮質譜檢漏儀，放射性同位素等檢漏方法和儀器。