現在真空行業中，無油、清潔度好、真空度高的無油真空泵越來越多的受到各行業的關注。我國在此工藝中的發展還剛剛起步，需要不斷的實踐。
如日本的真空工業，其中70%以上是用於半導體和液晶顯示(LCD)產業，一般傳統的真空係統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此，日本幹式真空泵中分子泵、低溫泵發展得很快。目前真空獲得產品已經出現更新換代的局麵，大量的有油真空係統己被無油清潔的真空係統所代替。
congmuqianwoguogeleizhenkongbengdeshichangfenehequshikeyikanchu，youyuwoguodezhenkonggongyedejuedabufenshijizhongzaiyibanchuantongdezhenkongyingyongfangmian，suoyigaozhenkongxitongrengranyikuosanbengweizhu，dizhenkongheqianjizhenkongzeyi旋片式真空泵、滑(hua)閥(fa)泵(beng)為(wei)主(zhu)。渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)目(mu)前(qian)產(chan)最(zui)亦(yi)不(bu)大(da)，大(da)型(xing)的(de)或(huo)複(fu)合(he)型(xing)分(fen)子(zi)泵(beng)尚(shang)未(wei)形(xing)成(cheng)批(pi)量(liang)生(sheng)產(chan)，至(zhi)於(yu)低(di)溫(wen)泵(beng)和(he)各(ge)種(zhong)類(lei)型(xing)的(de)幹(gan)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)等(deng)則(ze)剛(gang)剛(gang)起(qi)步(bu)，無(wu)法(fa)滿(man)足(zu)半(ban)導(dao)體(ti)工(gong)業(ye)、LCD產業發展的需要。
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