(一)概述
真空技術中的清潔處理一般指的是真空裝置的結構材料

、填裝材料和真空零(部)件的清潔處理。去除或減少汙染物將有利於獲得良好真空
，增加連接強度和氣密性

，提高產品的壽命
和可靠性。
(二)汙染物的幾種類型
①油脂:加工
、安裝和操作時沾染的潤滑劑、真空油脂等;
②水滴:操作時的手汗，吹玻璃時的唾液等;
③表麵氧化物:易氧化材料長期基露或放置在潮濕大氣中所形成的表麵氧化物;
④酸、堿
、鹽類物質:清洗後的殘餘物質、手汗
、自來水中的礦物質等;
⑤空氣中的塵埃及其它有機物。
(三)汙染的形成及其影響
真空裝置由許多不同的零件組成
，它們都是經過各種機械加工完成的，如車
、銑
、刨、磨、銼
、焊接等。這樣，零件表麵不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕

、拋光膏、焊劑、金屬屑、油you垢gou等deng汙wu染ran物wu。這zhe些xie汙wu染ran物wu在zai真zhen空kong中zhong易yi揮hui發fa，影ying響xiang真zhen空kong設she備bei的de極ji限xian真zhen空kong。此ci外wai，汙wu染ran物wu在zai大da氣qi壓ya下xia吸xi附fu了le大da量liang的de氣qi體ti，在zai真zhen空kong環huan境jing中zhong，這zhe些xie氣qi體ti也ye要yao被bei釋shi放fang出chu來lai。構gou成cheng了le限xian製zhi真zhen空kong設she備bei極ji限xian真zhen空kong的de因yin素su。為wei此ci，零ling件jian組zu裝zhuang前qian必bi須xu清qing除chu掉diao汙wu染ran物wu。
zhenkongzhuangzhishiyongguochengzhong
，lingjianhaihuishoudaowuran。zhezhongwuranyushiyongtiaojianjizhenkongbengyouguan。ruzhenkongganzaoxitong，jingchangshiyonghouhuishoudaozhengfachulaidewuzhidewuran;真空鍍膜機的內壁會被蒸鍍材料汙染;
離子束刻蝕設備的內壁會被工件濺射的濺散物汙染;真空中的電子槍的燈絲，由於高溫蒸發會使其附近表麵形成金屬膜;規(gui)管(guan)燈(deng)絲(si)在(zai)高(gao)溫(wen)下(xia)蒸(zheng)發(fa)，使(shi)陶(tao)瓷(ci)絕(jue)緣(yuan)子(zi)上(shang)形(xing)成(cheng)薄(bo)膜(mo)，破(po)壞(huai)絕(jue)緣(yuan)強(qiang)度(du)，影(ying)響(xiang)測(ce)量(liang)的(de)準(zhun)確(que)性(xing)。真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)中(zhong)的(de)機(ji)械(xie)泵(beng)油(you)和(he)擴(kuo)散(san)泵(beng)油(you)更(geng)是(shi)汙(wu)染(ran)源(yuan)，設(she)備(bei)長(chang)期(qi)工(gong)作(zuo)後(hou)會(hui)使(shi)設(she)備(bei)內(nei)部(bu)形(xing)成(cheng)明(ming)顯(xian)的(de)油(you)膜(mo)。這(zhe)些(xie)汙(wu)染(ran)同(tong)樣(yang)會(hui)影(ying)響(xiang)設(she)備(bei)的(de)性(xing)能(neng)，應(ying)注(zhu)意(yi)隨(sui)時(shi)清(qing)除(chu)。
超chao高gao真zhen空kong係xi統tong中zhong，清qing潔jie處chu理li更geng為wei重zhong要yao。良liang好hao的de清qing潔jie處chu理li工gong藝yi，可ke以yi使shi材cai料liao放fang氣qi率lv降jiang低di幾ji個ge數shu量liang級ji。如ru不bu鏽xiu鋼gang長chang期qi暴bao露lu於yu大da氣qi後hou，不bu進jin行xing任ren何he處chu理li，抽chou氣qi1h後的出氣率為2.7x10-1Pa・L/(s・m2)，清除油汙後抽氣4h，可降到1.3x10-3Pa・L/(s・m2)。在250℃下烘烤15h，出氣率進一步降到1.3x10-6Pa・L/(s・m2)。好的清潔處理工藝，可以提高設備的極限真空。
此外，在各類真空工藝生產中，例如電真空工藝、真空鍍膜工藝
、真(zhen)空(kong)焊(han)接(jie)工(gong)藝(yi)等(deng)，都(dou)十(shi)分(fen)重(zhong)視(shi)真(zhen)空(kong)衛(wei)生(sheng)間(jian)題(ti)。在(zai)電(dian)真(zhen)空(kong)工(gong)藝(yi)中(zhong)，要(yao)求(qiu)裝(zhuang)配(pei)到(dao)高(gao)真(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)的(de)零(ling)件(jian)
，事(shi)先(xian)都(dou)必(bi)須(xu)小(xiao)心(xin)地(di)進(jin)行(xing)清(qing)洗(xi)處(chu)理(li)，否(fou)則(ze)各(ge)種(zhong)汙(wu)染(ran)物(wu)可(ke)成(cheng)為(wei)大(da)量(liang)氣(qi)體(ti)和(he)蒸(zheng)氣(qi)的(de)來(lai)源(yuan)，會(hui)大(da)大(da)延(yan)長(chang)真(zhen)空(kong)器(qi)件(jian)的(de)排(pai)氣(qi)時(shi)間(jian)
，不(bu)易(yi)獲(huo)得(de)高(gao)真(zhen)空(kong);duiliziguaneryan，zhezhongyiwaideqitihezhengqilaiyuanjiangshiguanneiyuanyouqitidechundubiancha，yizhiwufadedaoyuqidetexing。qici，wuranwukeshiyuanjianbenshenbianzhi
，lirushiyinjiduhua(特別是非金屬陰極)
，在電極間引起漏電
，某些部分(例如控製柵)產生不必要的次級發射等。利用各種清洗方法，使油脂、金屬細屑
、灰塵、表麵附著物以及不需要的氧化膜和石墨膜等徹底去除
，可以提高電真空器件的壽命和可靠性。在真空鍍膜技術(包括玻璃鍍膜技術)中，基片(襯底)biaomiandeqingjiechuliyeshifenzhongyao。baoluyudaqizhongdechendibiaomianpubianshoudaowuran。biaomianwuranjiuqiwulizhuangtailaikan，keyishiqiti，yekeyishiyetihuoguti，tamenyimohuosanlixingshicunzai。jiuqihuaxuetexinglaikan
，takeyichuyulizitaihuogongjiatai;可以是無機物或有機物。汙染的來源有多種，而最初的汙染常常是表麵本身形成過程中的一部分。吸附現象、化學反應、浸析和幹燥過程
、jixiechuliyijikuosanhelixiguochengdouhuishigezhongchengfendebiaomianwuranwuzengjia。biaomianzaidumozhiqianbixushiqinggude
，fouzedudemoyubiaomianjiangbunenghenhaodizhanfu。zaizhenkongkuosanhanjiegongyizhong，hanjiejietoudeqiangduyubiaomianqingjiechuliguanxihenda。youziliaobaodao，hanjiejietoubiaomiancucaodudadao12.5μm以後
，用超聲波振蕩來淨化被焊接零件表麵，焊
接接頭強度可從70kg/mm2提高到110kg/mm2。利用各種不同的清潔方法，如用酒梢
、丙酮、四氯化碳擦洗和真空中加熱等可提高焊接接頭的強度和接頭的特性穩定性。
環境汙染對真空衛生影響很大。環境汙染物來自空氣、地板、牆壁
、天花板
、家具、衣服的灰塵、棉絨、煙灰


、頭發和頭屑。為此，電真空器件的生產
，一些特殊零、部bu件jian的de生sheng產chan，都dou要yao求qiu在zai清qing潔jie車che間jian或huo超chao潔jie淨jing車che間jian裏li進jin行xing操cao作zuo。在zai電dian子zi管guan製zhi造zao中zhong
，管guan子zi裝zhuang架jia和he零ling件jian處chu理li必bi須xu在zai封feng閉bi良liang好hao的de沽gu淨jing間jian裏li進jin行xing，空kong氣qi必bi須xu經jing過guo兩liang級ji或huo多duo級ji過guo濾lv，相xiang對dui濕shi度du保bao持chi在zai50%以下。
綜上所述
，真空衛生涉及到真空係統、真空裝置和真空工藝生產各方麵
，涉及到真空裝置本身和特殊真空工藝對周圍環境的要求，這是一個值得重視的問題。