所謂真空就是壓強低於101.3kPa(1個大氣壓)的氣態空間。真空度的高低用氣態空間的壓強大小來表示，即真空度越高，壓強就越低。
在工作應用中，常把電爐的真空度劃分為三種等級，即低真空，壓強為1.33 x 103-13.3Pa;中真空，壓強為13.3-1.33x10-2Pa;高真空，壓強為1.33x10-2-1.33x10-4Pa,目前，大多數真空熱處理爐所用的真空度為133-1.33x10-3Pa.
所(suo)謂(wei)真(zhen)空(kong)熱(re)處(chu)理(li)是(shi)指(zhi)熱(re)處(chu)理(li)工(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)的(de)全(quan)部(bu)或(huo)部(bu)分(fen)在(zai)真(zhen)空(kong)狀(zhuang)態(tai)下(xia)進(jin)行(xing)。實(shi)際(ji)上(shang)，是(shi)把(ba)真(zhen)空(kong)當(dang)作(zuo)一(yi)種(zhong)純(chun)度(du)較(jiao)高(gao)的(de)保(bao)護(hu)氣(qi)體(ti)，能(neng)有(you)效(xiao)地(di)防(fang)止(zhi)工(gong)件(jian)在(zai)高(gao)溫(wen)下(xia)發(fa)生(sheng)氧(yang)化(hua)脫(tuo)碳(tan)反(fan)應(ying)，提(ti)高(gao)工(gong)件(jian)熱(re)處(chu)理(li)的(de)表(biao)麵(mian)質(zhi)量(liang)或(huo)改(gai)進(jin)化(hua)學(xue)熱(re)處(chu)理(li)的(de)效(xiao)果(guo)。
現在，真空熱處理已用於淬火、退火、回火、滲碳、滲氮、滲金屬及其他表麵硬化、表麵合金化等工藝中。在淬火方麵已實現了氣淬、油淬、硝鹽淬、水淬等處理。
獲得真空的主要設備是真空泵。真空熱處理爐常用的真空泵有:旋片式機械真空泵、滑閥式機械真空泵、機械增壓泵、油增壓泵和油擴散泵。前三種泵為機械類真空泵，後兩者為油蒸氣類真空泵。
