keyiweinaxiebunengzhijiexiangdaqipaiqidelingwaidebengtigongsuobixudeqianjiyaqiangdebengchengweiqianjibeng。qizhong,youyixiebengnengyiliangzhongfangshigongzuo,youshipairudaqi,youshipairujianyadeqianjiyaqiangzhong。
概述
將氣體從低壓強區域輸送至大氣壓的抽氣裝置可以分為三種主要類型:
(a)氣體的輸運是通過一級或多級壓縮來實現。
(b)通過動量轉移輸運氣體。
(c)氣體吸附在低溫表麵上,而後再加熱,再生出來。
機械真空泵是第一類泵的代表,而噴射泵和吸附泵是第二類泵和第三類泵的代表。
工作壓強區域
雖然圖1suoshidegezhongleixingdebengdounengduidaqipaiqi,dantamendeyouxiaogongzuoquchengdebianhuaqujueyuqigongzuoyuanli。ruguobuyongmifengye,jiubunengbaochigaoyasuobi,jixiejianxibukenengzuodexiaodaozuyiyouxiaodizuzhiercipengzhanghuofanliu。meiyoumifengyedebenghenshiyuzaidaqiyafujingongzuo。youyuyasuorenanyusandiao,yixieganshijixiebeng,youqiluocibengheqianshiluoxuanyasuojidediyaqianggongzuoshoudaoxianzhi。zhexiebengzuihaozai30OTorr以上工作。若使用如碳、石墨化鑄鐵以及高溫下合成的材料,那麼,由於這些材料的自潤滑性能,可將幹式旋片泵的工作區域延伸到150Torr,在同樣的壓強區域,也可以有效地利用液環泵、往複式活塞泵以及效率較低的噴射泵。若用雙級液環泵、無閥多片泵、雙級往複式活塞泵、液體噴射泵以及雙級蒸汽噴射泵,甚至可將壓強區域延伸至大約30Torr.當(dang)工(gong)作(zuo)壓(ya)強(qiang)進(jin)一(yi)步(bu)降(jiang)低(di)時(shi),比(bi)較(jiao)簡(jian)單(dan)的(de)泵(beng)可(ke)能(neng)不(bu)再(zai)適(shi)用(yong)了(le),必(bi)須(xu)用(yong)多(duo)級(ji)旋(xuan)轉(zhuan)油(you)封(feng)泵(beng),並(bing)選(xuan)擇(ze)低(di)蒸(zheng)汽(qi)壓(ya)的(de)密(mi)封(feng)液(ye)。單(dan)級(ji)泵(beng)的(de)有(you)效(xiao)工(gong)作(zuo)壓(ya)強(qiang)區(qu)城(cheng)主(zhu)要(yao)是(shi)由(you)於(yu)油(you)汙(wu)染(ran)影(ying)響(xiang),因(yin)而(er)將(jiang)其(qi)限(xian)製(zhi)到(dao)0.lTorr。由於同樣的影響,雙級油封泵的低壓工作限,稍低於10mTorr。約為1mTorr的油蒸氣壓弧使前級接雙級油封泵(在有效抽速下)的羅茨泵不能在10-6Torr區域內工作。對低於1mTorr的抽氣,用其他抽氣設備,如擴散泵、離子泵等更有效。就用機械的抽氣而論,這區域最好使用渦輪分子泵。
當對小容器抽氣時,在類似於雙級油封泵工作的壓強區域內可以單獨地或順序地使用吸附泵,這樣就不存在油或蒸汽的汙染問題。
因為油封式機械泵適用的壓強區城寬,並且堅固、簡單、可榨使用方便,因此廣泛地用在實驗室工作中。
|