有關超高真空抽氣的一些問題

超高真空泛指壓強低於1×10-6Pa的真空空間.超chao高gao真zhen空kong的de排pai氣qi是shi在zai高gao真zhen空kong排pai氣qi之zhi後hou進jin一yi步bu排pai除chu來lai自zi於yu容rong器qi壁bi的de氣qi源yuan。這zhe些xie氣qi源yuan有you被bei器qi壁bi吸xi附fu和he吸xi收shou的de氣qi體ti，有you微wei量liang的de滲shen透tou氣qi體ti。有you與yu固gu體ti表biao麵mian雜za質zhi反fan應ying產chan生sheng的de氣qi體ti

，還hai有you測ce量liang壓ya強qiang的de規gui管guan因yin受shou熱re而er放fang出chu的de氣qi體ti等deng。由you此ci可ke見jian.掌握各種材料的放氣、滲透和蒸氣壓的詳細資料，以及與超高真空相適應的各種抽氣手段是設計好超高真空係統的關鍵。

chaogaozhenkongxitongshejiyugaozhenkongxitongyouxiangtongzhichu，ruguanludeliudaojisuan，ketiqiangdujisuan
，zhubengchousujisuanjibengzhijianpipeixuanze
，zhenkongyuanjiandeqingguchulijijianloudeng。

超高真空係統設計也有許多不同之處:選擇真空泵的方法不同;對材料要求更為嚴格;密封結構和密封材料不同;需采用烘烤措施，焊接結構和方法不同;對漏率控製更為嚴格等。