目前在各種真空鍍膜設備上所配用的真空係統不但結構各不相同，而且係統的抽氣特性也隨其工作對象的不同而有很大的差別.歸納起來主要有如下幾種係統:
(1)通用真空係統 係統的主泵是油擴散泵，泵上方設有水冷擋板(阱)，主泵的前級泵為機械泵。這種係統的工作壓強在10-2~10-4pa的範圍內.
(2)超高真空係統 在上述真空係統中加裝液氮冷阱或鈦泵.就可以使鍍膜室真空度提高到10-6Pa以上.從而得到超高真空係統.由於該係統仍采用油擴散泵，所以還是有油的係統。
無油超高真空鍍膜機配備無油超高真空機組.CWD-500型配備的機組是三極式:以冷陰極濺射離子泵(JLP-400型)為主泵，鈦升華泵(ST-0.1型)為輔助泵.並以SP-40型分子篩吸附泵作為係統的粗抽泵。係統還帶有CT-200型內裝式插板閥以及全套前級真空管路、烘烤裝置等.為使烘烤時便於排氣或快速抽氣.機組還可以用一套機械泵加吸附裝置作為輔助前級泵。機組的極限真空可達6.7×10-8 Pa,在1h內可從大氣壓下抽到1×10-5Pa.
鍍膜機采用分子泵係統可以獲得十分清潔的真空.有利於膜質量的提高。分子泵抽速很大，可以縮短工藝周期。譬如用1200L·s-1的分子泵在直徑500mm的普通式高真空鍍膜機上進行抽空，從大氣抽到3×10-4Pa隻需要18min，可見，其效果是顯著的.
(3)製冷機低溫泵係統 使用低溫泵抽氣係統的真空鍍膜設備具有一係列優點:無選擇性氣體、無碳氫化合物汙染、具有較大的抽氣速率、可以獲得較低的極限壓力、操作簡單、運行維護方便.
