一般的高真空係統均須采用真空機組以獲得足夠高的真空。最簡單的真空機組為多級擴散泵或渦輪分子泵(作為主泵)與機械泵(作為前置泵)dengchuanlian。zaiduobengchuanlianshiyongshi,budanjixianzhenkongyaoyouyidingdeyaoqiu,chousuzhijianyeyingyouhelidepeihe,yichongfenfahuigebengdexiaoneng。gebengzhijiandeguanxi,kegenjuwendingliudongxia,liulianghengdingguanxilaiqueding。
設S1為主泵的抽速,S2為前置泵的抽速,p1為工作時主泵的進口壓強,P2為前置泵的進口壓強。則主泵的抽除量為p1S1,前置泵的抽除量為P2S2。穩定流動時,兩者相等,故有:p1S1=p2S2 |