（1）氣流
真空係統用真空泵抽chou氣qi，氣qi體ti經jing管guan道dao流liu到dao泵beng裏li。抽chou氣qi不bu斷duan進jin行xing，係xi統tong中zhong的de壓ya強qiang由you高gao而er低di，氣qi體ti分fen子zi的de自zi由you程cheng由you小xiao而er大da。由you以yi分fen子zi間jian碰peng撞zhuang為wei主zhu逐zhu漸jian改gai變bian為wei以yi分fen子zi與yu器qi壁bi碰peng撞zhuang為wei主zhu。在zai此ci過guo程cheng中zhong氣qi流liu性xing質zhi出chu現xian階jie段duan性xing的de轉zhuan變bian。成cheng黏nian滯zhi流liu(湍流、層流)，黏滯-分子流(又稱過渡流)和分子流，不同性質的氣流流過真空係統的阻力各異.
（2）層流
氣(qi)體(ti)分(fen)子(zi)間(jian)的(de)碰(peng)撞(zhuang)數(shu)多(duo)於(yu)與(yu)容(rong)器(qi)壁(bi)的(de)碰(peng)撞(zhuang)數(shu)，內(nei)摩(mo)擦(ca)力(li)起(qi)主(zhu)要(yao)作(zuo)用(yong)，氣(qi)體(ti)的(de)黏(nian)度(du)影(ying)響(xiang)著(zhe)流(liu)速(su)，氣(qi)體(ti)的(de)流(liu)線(xian)呈(cheng)直(zhi)線(xian)，層(ceng)流(liu)管(guan)壁(bi)附(fu)件(jian)的(de)氣(qi)體(ti)幾(ji)乎(hu)不(bu)動(dong)，管(guan)道(dao)中(zhong)心(xin)的(de)流(liu)速(su)最(zui)大(da)。
（3）分子流
氣體分子的內摩擦力已不存在，這時氣體分子獨立而自由地通過管道的氣體量與管道兩端的壓差成正比。
(4)黏滯-分子流
界於黏滯流與分子流之間的氣流，除發生氣體內摩擦之外還有個別分子獨立的(無碰撞的)熱運動的氣流。
