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真空計
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在真空裝置自動控製中，往往要進行真空測量，由於真空裝置種類繁多、工作壓力範圍也不盡相同，因此，從100000-0.00001的各個真空區域的真空測量均會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功能，真空儀器廠家還生產包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調節等功能模塊板供用戶選配。因此，一個配置齊全的真空計，不僅能進行真空度測量、數字顯示、量程自動切換、誤wu差cha自zi動dong修xiu正zheng，而er且qie能neng在zai壓ya力li設she定ding點dian發fa出chu控kong製zhi信xin號hao去qu進jin行xing壓ya力li控kong製zhi，按an設she定ding壓ya力li值zhi進jin行xing壓ya力li自zi動dong調tiao節jie，還hai能neng將jiang測ce量liang值zhi打da印yin記ji錄lu，並bing與yu上shang位wei機ji進jin行xing通tong信xin聯lian係xi，甚shen至zhi還hai能neng進jin行xing遠yuan距ju離li真zhen空kong測ce童tong與yu控kong製zhi。
(1)壓力控製儀
在zai工gong業ye生sheng產chan和he科ke學xue實shi驗yan中zhong，往wang往wang希xi望wang真zhen空kong裝zhuang置zhi的de真zhen空kong室shi中zhong的de真zhen空kong度du能neng按an真zhen空kong工gong藝yi的de要yao求qiu，維wei持chi在zai某mou一yi給gei定ding值zhi上shang。這zhe種zhong要yao求qiu通tong常chang可ke以yi通tong過guo手shou動dong調tiao節jie真zhen空kong微wei調tiao閥fa來lai完wan成cheng，倘tang若ruo希xi望wang自zi動dong地di完wan成cheng壓ya力li調tiao節jie，就jiu要yao借jie助zhu於yu壓ya力li控kong製zhi儀yi來lai完wan成cheng。
壓力控製儀通常由真空測量單元(真空計)、壓力自動調節電路和真空調節閥組成，它是集真空測量與壓力調節於一體的自動控製儀器。國產壓力控製儀主要有HY, ZDC, SYK, DL,ZZK等係列產品。
表征壓力控製儀的主要技術指標是壓力控製範圍、控製精度、流量控製範圍、反應時間等。它取決於其配用的真空規管、控製電路及真空調節閥的性能。
壓力控製儀廣泛應用於離子注人、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術及半導體材料等領域，其使用的環境條件與同類型的真空計大致相同。 |
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