真空退火爐的性能主要體現在下麵幾個參數上：放氣、抽氣速率、極限真空和泄漏率。
1、放氣
放(fang)氣(qi)是(shi)材(cai)料(liao)在(zai)真(zhen)空(kong)中(zhong)慢(man)慢(man)蒸(zheng)發(fa)的(de)現(xian)象(xiang)，是(shi)真(zhen)空(kong)性(xing)能(neng)上(shang)需(xu)要(yao)考(kao)慮(lv)的(de)主(zhu)要(yao)問(wen)題(ti)。在(zai)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)中(zhong)，任(ren)何(he)固(gu)體(ti)材(cai)料(liao)表(biao)麵(mian)，都(dou)可(ke)能(neng)存(cun)在(zai)液(ye)體(ti)和(he)氣(qi)體(ti)堆(dui)積(ji)而(er)形(xing)成(cheng)的(de)分(fen)子(zi)層(ceng)，這(zhe)些(xie)分(fen)子(zi)層(ceng)隨(sui)著(zhe)壓(ya)力(li)降(jiang)低(di)而(er)逐(zhu)漸(jian)蒸(zheng)發(fa)。惰(duo)性(xing)氣(qi)體(ti)和(he)揮(hui)發(fa)性(xing)溶(rong)劑(ji)放(fang)氣(qi)速(su)度(du)相(xiang)對(dui)快(kuai)些(xie)，水(shui)蒸(zheng)氣(qi)和(he)油(you)會(hui)附(fu)著(zhe)在(zai)表(biao)麵(mian)，會(hui)在(zai)幾(ji)個(ge)小(xiao)時(shi)後(hou)才(cai)蒸(zheng)發(fa)。灰(hui)塵(chen)顆(ke)粒(li)、多孔材料和其他外來物會增加係統的表麵積，因而可引起更多的放氣出現。
溫(wen)度(du)和(he)輻(fu)射(she)會(hui)給(gei)一(yi)些(xie)吸(xi)收(shou)的(de)分(fen)子(zi)提(ti)供(gong)足(zu)夠(gou)的(de)能(neng)量(liang)，使(shi)其(qi)脫(tuo)離(li)表(biao)麵(mian)。升(sheng)高(gao)爐(lu)子(zi)溫(wen)度(du)會(hui)逐(zhu)漸(jian)釋(shi)放(fang)出(chu)本(ben)來(lai)在(zai)低(di)溫(wen)下(xia)會(hui)保(bao)持(chi)在(zai)表(biao)麵(mian)的(de)分(fen)子(zi)。因(yin)此(ci)，隨(sui)著(zhe)爐(lu)子(zi)加(jia)熱(re)，放(fang)氣(qi)現(xian)象(xiang)會(hui)增(zeng)多(duo)。爐(lu)子(zi)溫(wen)度(du)降(jiang)低(di)或(huo)保(bao)持(chi)恒(heng)溫(wen)可(ke)減(jian)少(shao)這(zhe)種(zhong)情(qing)況(kuang)。
保bao持chi清qing潔jie是shi減jian少shao放fang氣qi的de關guan鍵jian。另ling外wai，用yong惰duo性xing氣qi體ti或huo氮dan氣qi吹chui洗xi，排pai除chu內nei部bu空kong氣qi，可ke避bi免mian係xi統tong表biao麵mian暴bao露lu在zai空kong氣qi中zhong時shi形xing成cheng水shui蒸zheng氣qi膜mo。爐lu腔qiang打da開kai後hou，對dui其qi內nei部bu進jin行xing加jia溫wen也ye能neng達da到dao這zhe個ge效xiao果guo。要yao盡jin量liang減jian少shao爐lu腔qiang打da開kai的de次ci數shu，尤you其qi是shi在zai潮chao濕shi的de天tian氣qi時shi，不bu能neng減jian少shao放fang氣qi現xian象xiang的de出chu現xian並bing提ti高gao真zhen空kong退tui火huo爐lu的de性xing能neng。
2、抽空速率
抽空速度是爐腔處於大氣壓時，真空閥打開，真空腔達到規定壓力的時間，是在任何壓力下(包括抽吸重質量氣體)測量係統性能的方法。為了取得可複現性，爐腔應清潔、排空並放氣，而且每個真空泵已經運行足夠的時間，達到完全抽吸速度。
3、極限真空
極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)是(shi)實(shi)際(ji)完(wan)成(cheng)放(fang)氣(qi)而(er)取(qu)得(de)的(de)真(zhen)空(kong)狀(zhuang)態(tai)，這(zhe)時(shi)泄(xie)漏(lou)引(yin)起(qi)的(de)氣(qi)體(ti)流(liu)動(dong)和(he)真(zhen)空(kong)抽(chou)吸(xi)係(xi)統(tong)以(yi)規(gui)定(ding)壓(ya)力(li)排(pai)氣(qi)的(de)能(neng)力(li)平(ping)衡(heng)。為(wei)保(bao)持(chi)正(zheng)確(que)性(xing)，真(zhen)空(kong)測(ce)量(liang)儀(yi)器(qi)必(bi)須(xu)足(zu)夠(gou)靈(ling)敏(min)並(bing)經(jing)過(guo)準(zhun)確(que)校(xiao)準(zhun)。
將爐子升高到其最大沮度，加快係統的放氣。將爐子在真空下加熱並冷卻到室溫後，就可以測出真實的極限真空和泄露速度。真空泵的極限真空稱為“極限低壓”，是取得抽吸係統隔離性能的好方法。
4、泄漏率
泄漏率是指真空關閉時真空艙內壓力上升的速度，包括兩個方麵:泄漏速度和放氣速度。泄漏速度是氣體通過艙內實際的泄漏點流動而引起的壓力上升，是恒定的;放氣速度(包括虛漏)是隨著艙的排空，逐漸接近於零。虛漏是真空艙壁內夾帶的體積，慢慢向艙內泄漏氣體。
泄漏率以每小時的微米汞柱(mmHg)值，通常測量1小時，泄漏率不超過每小時5mmHg。測量爐腔壓力上升速度時，排空爐腔並啟動循環加熱，待放氣完成後停止加熱，直至壓力保持恒定(極限真空)，然(ran)後(hou)關(guan)閉(bi)所(suo)有(you)的(de)真(zhen)空(kong)閥(fa)，按(an)循(xun)環(huan)停(ting)止(zhi)按(an)鈕(niu)隔(ge)離(li)爐(lu)腔(qiang)。這(zhe)樣(yang)可(ke)盡(jin)量(liang)減(jian)少(shao)關(guan)閉(bi)閥(fa)門(men)帶(dai)來(lai)的(de)影(ying)響(xiang)，同(tong)時(shi)讓(rang)係(xi)統(tong)達(da)到(dao)平(ping)衡(heng)。經(jing)過(guo)一(yi)小(xiao)時(shi)後(hou)，再(zai)次(ci)測(ce)量(liang)真(zhen)空(kong)，計(ji)算(suan)單(dan)位(wei)時(shi)間(jian)內(nei)壓(ya)力(li)的(de)上(shang)升(sheng)情(qing)況(kuang)。比(bi)如(ru):如果測到的初始壓力為5mmHg，經過一小時後為8mmHg，那麼上升速度為每小時3mmHg。
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